| 加工定制：是 | 品牌：日本Certas | 型号：Certas Leaga 化学气体高效刻蚀系统 |
| 用途：离子刻蚀 |
Certas LEAGA是一种高效率的系统，除了Certas WING的基本性能之外，还可以满足单个平台上的多个流程需求。针对当前和下一代设备的大量生产，LEAGA具有易于配置的主机，可以进行优化，以匹配所需的应用程序。扩展了Certas系列的独特工艺技术，现在可以控制多种类型氧化硅薄膜中的蚀刻选择性，从非选择性到高度选择性，为从大批量生产到下一个广泛应用的关键接口提供控制一代发展。
特征
独特的干气去除选择性范围广的选择氧化膜
集群双晶圆腔室设计提供灵活的模块配置
应用
二氧化硅膜去除和回蚀
在硅接触之前进行预清洁
