SET ACCμRA M 技术特点与优势 法国 SET公司始于1975 年,是全球制造高精度倒装键合机的***企业,2007 年,该公 司从***的德国SUSS MicroTec集团中独立,专业制造全球高精度倒装焊机。其高精度 产品广泛应用于军事、科研等高端应用领域。 ![](https://res.gys.cn/img/mobile/common/loading/circle-loading.svg)
ACCμRA M 具有很好的精度和稳定性,特别适合作为科研平台和中小批量的元器件生产。 SET公司ACCμRA M倒装键合机在全球范围内的用户包括:CERN、IBM、Axsun、CEA-Leti、 IMEC、Fraunhofer、德国AIM 等众多光电元器件研究机构与生产单位。 ![](https://res.gys.cn/img/mobile/common/loading/circle-loading.svg)
ACCμRA M 是一个非常好的研发平台,可适用于各类微组装工艺、高精度贴装等,几乎
覆盖了所有领域的芯片倒装互连技术。并且可以根据客户需要,实现倒装互连、正贴、超声 键合、UV 胶/环氧树脂胶倒装互连等。 ![](https://res.gys.cn/img/mobile/common/loading/circle-loading.svg)
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ACCμRA M 在设计上具有如下的技术特点: 1. 移动精度高达10nm的高精度的Z 轴焊臂和***的压力控制(±2N) SET公司ACCμRA M 型倒装键合机Z 轴采用了独特的设计:Z 轴被固定在稳定厚重的 设备大理石框架上,且只能进行Z 方向的运动,X-Y方向被固定,不能做任何运动。Z 轴通 过高精度的丝杠来产生和***控制键合压力。这样的设计,确保了ACCμRA M 在任何键合 压力下的工艺中,Z 轴施加至压力时,也不会在X-Y方向产生任何的侧向偏移,从而确 而在一般的倒装键合机中,键合过程是通过焊臂旋转90°来实现的,然后将压力施加在 焊臂上。这样一来,在Z 方向给焊臂施加压力时,会不可避免地会造成X-Y方向产生较大偏 移。这种设计无疑是无法在大压力下实现高精度互连的。 ACCμRA 保了机器具有高水准的键合后精度。ACCμRA M 的Z 轴移动精度高达10nm,压力控制精度 高达±2 N.
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而在一般的倒装键合机中,键合过程是通过焊臂旋转90°来实现的,然后将压力施加在 焊臂上。这样一来,在Z 方向给焊臂施加压力时,会不可避免地会造成X-Y方向产生较大偏 移。这种设计无疑是无法在大压力下实现高精度互连的。 ![](https://res.gys.cn/img/mobile/common/loading/circle-loading.svg)
ACCμRA M 的键合压力控制在不同的范围内采用了不同的高精度压力传感器,确保了在
不同的压力范围内,都能够得到的压力控制精度。 · ACCμRA M 对准精度:±1μm @ 3sigma · ACCμRA M 键合完成后精度:±1-3μm(取决于不同工艺类型) · ACCμRA M 压力控制范围:1~200N · ACCμRA M 压力控制精度:±2 N · Z 轴移动:焊臂Z 轴运动范围:74mm,移动精度10nm 2. 高精度X-Y Stage承片台 ACCμRA M 倒装焊机采用了非常特殊的X-Y Stage 移动方式:X 方向和Y方向采用了两 套完全独立的位移系统,可以通过两套独立的步进电机***控制两个方向的位移量: ![](https://res.gys.cn/img/mobile/common/loading/circle-loading.svg)
如图所示,当Stage 进行X 方向移动时,红色的外框锁定;当Stage 进行Y方向移动时, 内部的黄色内框锁定。在这种特殊的结构下,X 方向和Y方向的移动互相完全不干扰,确保 了设备***的定位精度和键合后精度。 为了在确保控制精度的前提下***设备的运行速度,机器的位移台X-Y移动范围(X) 350×105mm,手动对准。
3. ***的双光路同轴式显微对准系统(视场分辨率:0,36 μm/pixel) ACCμRA M 的显微镜采用了垂直双物镜同轴式显微系统,可以在对准时同时对上下芯片 进行观察。垂直双物镜同轴式的显微镜结构,可以确保观察与对准过程中上下光轴的同轴性, 且放大倍数远远高于传统反射式对准显微镜,***提高了观察时的便利性和对准精度。 ![](https://res.gys.cn/img/mobile/common/loading/circle-loading.svg)
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