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海德堡Heidelberg DWL66+ 激光直写光刻机

DWL66+激光光刻系统是具经济效益的高分辨率图像产生器，适用于小批量掩模板制作和直写需求。该系统的功能和灵活性使其成为LifeScience,AdvancedPackaging,MEMS,Micro-Optics,Semiconductor以及所有其他需要微结构应用的刻研工具。

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所在地区：广东深圳
主营产品：光刻机,太阳能检测仪,离子刻蚀与沉积机,紫外UV清洗机

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广东深圳宝安区宝安区沙井共和第四工业区新和大道昊海弘工业园A6栋7楼

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加工定制：是	品牌：Heidelberg	型号：DWL66+
用途：无掩膜直写制程系统

海德堡Heidelberg DWL66+ 激光直写光刻机详细介绍

德国海德堡激光直写光刻机DWL 66+

科研用激光直写系统
具有多种直写模块，实现不同精度直写需求
能于结构上进行灰度曝光

DWL 66+激光光刻系统是具经济效益的高分辨率图像产生器，适用于小批量掩模板制作和直写需求。该系统的功能和灵活性使其成为Life Science, Advanced Packaging, MEMS, Micro-Optics, Semiconductor以及所有其他需要微结构应用的刻研工具。DWL 66+的客户群包括全球200多所大学和研究机构，许多系统功能是与这些机构合作开发，及***技术不断改进以增加高分办率：DWL 66+的最小结构尺寸为300 nm，提供了极高的分辨率，优于或等于研发领域中大的光学光刻系统。

基本的DWL 66+包含创造和分析微结构所需的所有功能。它可以用于掩模板制作或直写在任何涂有光刻胶的平坦材料上，多样化选择可提高灵活性，使系统适用于更多应用领域。