| 加工定制：是 | 品牌：德国W&L | 型号：德国WL等离子体增强沉积机 |
| 用途：金钢石，钻石制造，其它材料薄膜沉积 | 是否跨境货源：是 |
主要技术参数：
? 。2.45 GHz 微波源?
。功率 6 KW?
。3 英寸 (75 厘米) 样品台?
。4 路气体 H2, CH4, CO2 and N? PLC 全自动控制
真正的环形等离子体激发源设计是获取高稳定、高均匀等离子体的关键！！！
W&L 公司 CBR 技术特色：
CBR 技术的一个最重要的优点：使等离子放电体的形状可调、可控，***提高有效沉积面积！
相比球状等离子体，圆盘状等离子体可实现更大的沉积面积！
图（a）、图（b）分别为圆盘状等离子体原理图和实物图
图（c）、图（d）分别为球状等离子体原理图和实物图
W&L 公司 CBR 技术特色之二
在新的 CBR 设计中，真空-大气界面(SiO2) 远离“H”等离子体，从而有效避免其腐蚀效应。
W&L 公司 CBR 技术特色之三
从以下模拟结果可以看出，能量在整个样品上的分布十分均匀：
典型金刚石单晶生产线：
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