| 加工定制：是 | 品牌：Mattson | 型号：Millions |
| 用途：快速退火 | 别名：退火炉 |
Millios ?
毫微秒退火系统是Mattson技术为***的晶体管形成、介质钝化、金属硅等材料表面退火提供的解决方案，退火时间极短，控制***。Millios扩展了马特森技术的理念，为客户提供进的技术和的系统生产力。
产品特点:
·。扩展处理范围
.。中间的温度从250°C到1050°C
.。温度跳跃到600°C
.。发射率从0.2到0.9
·。流程灵活性
.。脉冲持续时间调整能力
.。集成钉和闪光退火
·。平台
.。单室设计
.。双面加热机构
.。工艺气体N, O, Ar
.。Mattson科技Vortek?弧灯系统
.。环境控制<10ppm
亮点:
·。实时温度测量控制
.。前后温度测量
.。闪光灯前侧温度控制
.。优异的温度剖面调谐
·。晶片压力的解决方案
.。温度剖面成型，限度减少热应力
.。优化晶片处理
·。生产证明解决方案
.。吞吐量> 55 wph
.。晶圆片破损<100ppm
应用程序:
·。***逻辑
·。下一代记忆
过程:
·。***的晶体管的形成
.。超浅结
.。S / D退火
.。光环退火
.。高K退火
.。Silicidation退火后
·。***Silicidation
。镍硅化物
.。硅化钛
